日本ULVAC雙繞式渦旋泵DIS-90北崎熱賣

更新時間：2025-09-09

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渦旋式干泵

渦旋式干式真空泵是通過螺旋定子和轉子的聯(lián)合運動來排氣的干式真空泵。
用途廣泛，包括真空干燥設備、理化分析設備、真空吸附輸送設備、真空熱處理爐等。

渦旋式干式真空泵由兩個形狀相同的渦旋體組成，渦旋體的中心稍微偏移，使它們的壁彼此線接觸，從而一側相對于另一側進行搖擺運動，其結構是這樣的。被困在月牙形空間中的氣體被向中心壓縮并從中心的孔排出。壓縮過程通常設計為發(fā)生兩次或多次，從而產生較低的振動和噪音。極限壓力可達1Pa。

渦旋式干泵Model:DIS-90

•雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大氣壓下實現操作運行。
•可實現高極限真空。
•低振動低噪音。
•維護周期可通過計時表控制。

特點

結構緊湊，排氣量大。
干式真空泵的最高壓力水平。
內置自動復位型熱保護器等安全設計。
通過空氣沖洗抑制水分凝結。

用途

分析設備
氣體回收系統(tǒng)
涂裝設備
TMP的背泵
氦氣檢漏儀
半導體制造工藝

規(guī)格

　Unit50Hz60Hz設計排氣速度度※1L/min90108極限壓力Pa (kPa)5.0使用電動機※2　單相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 電容器啟動?運転全負荷電流A2.6/1.3/1.6(100/200/230V)2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230V)重量kg14.0吸氣口徑　KF-25排氣口徑　KF-16使用環(huán)境溫度范圍℃5～40水蒸氣處理量g/day≦5 以下（AF開時※3, 室溫25℃, 濕度60％以下）噪音水平dB≦52 （AF開時※3, ≦57）最大尺寸mm214(W)×308(L)×225(H)

※1：設計排氣速度時當抽取大氣壓氣體時實際排氣速度的1.2倍。
※2：不包括電源插頭和電源線。
※3：AF = Air Flash
　　　　　　空氣沖洗操作不僅排出殘留在泵中的水，而且還具有恢復極限力的效果。

對應標準/電壓

型號認證標準※ＣＥ自我宣言1Φ、100V系1Φ、200V系3Φ、200V系3Φ、400V系DIS-90cTUV●●（可以通過更換端子板切換）--

●：標準、○：可選對應、－：對應不可
※ｃＴＵＶｕｓ認證：本產品是通過國際第三方產品安全測試和認證，符合美國標準的高質量產品。

使用上的注意

１	粉末和生成物吸入會導致泵損壞。請使用吸氣阱。
２	吸入有害氣體如爆炸性氣體，有毒氣體，腐蝕性氣體，有機溶劑氣體等，可能會因氣體本身，爆炸或火災而導致泵故障。

尺寸圖

排氣速度曲線

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